產(chǎn)經(jīng)新聞/ Midwifery News
來源:中科富海
近日,中科富海旗下子公司中科富氦(中山)氣體開發(fā)有限公司(以下簡稱“中科富氦”)氣體純化裝置成功投產(chǎn),產(chǎn)出純度高達6N的超純氪氣、氙氣產(chǎn)品。
氪氣、氙氣在空氣中的含量極少,加之其分離提取工藝要求較高等原因,稱為“黃金氣體”。6N級超純氪氣、氙氣在國內(nèi)并不多見,其生產(chǎn)技術(shù)曾一度被國外企業(yè)壟斷。中科富氦采用先進的精餾結(jié)合純化工藝流程和設(shè)備配置;其主要通過進料排、精餾塔、純化器三套主要設(shè)備協(xié)同工作,使原料得以高效提純。此外,裝置還配備了膜壓機和真空泵等輔助設(shè)備,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和高效性。最終實現(xiàn)將氪氙原料氣體從5N純度精餾提純至6N純度甚至更高。
該套裝置設(shè)計產(chǎn)能為氪氣6000Nm³/a和氙氣600Nm³/a,可充分滿足臺積電等高端客戶需求。未來,中科富氦將持續(xù)深耕低溫精餾和純化工藝,瞄準(zhǔn)7N純度標(biāo)準(zhǔn)不斷前進,持續(xù)提升產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率,以滿足日益增長的半導(dǎo)體行業(yè)需求。